Скачать ГОСТ 25196-82 Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования

Дата актуализации: 01.01.2018

ГОСТ 25196-82

Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования

Обозначение:	ГОСТ 25196-82
Статус:	действующий
Название рус.:	Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Название англ.:	Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements
Дата актуализации текста:	06.04.2015
Дата актуализации описания:	01.01.2018
Дата издания:	04.05.1982
Дата введения:	30.06.1983
Дата последнего изменения:	21.12.2017
Область применения:	Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники