| Обозначение: |   ГОСТ Р 8.640-2008 |
| Статус: | действующий |
| Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки |
| Название англ.: | State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods |
| Дата актуализации текста: | 06.04.2015 |
| Дата актуализации описания: | 01.01.2018 |
| Дата издания: | 15.05.2008 |
| Дата введения: | 01.01.2009 |
| Дата последнего изменения: | 21.12.2017 |
| Область применения: | Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок |
|
|
