Интернет - Библиотека
Нормативная правовая документация

Скачать ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия

Дата актуализации: 01.01.2018

ГОСТ Р 52250-2004

Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия

Обозначение: ГОСТ Р 52250-2004
Статус:действующий
Название рус.:Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
Название англ.:Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications
Дата актуализации текста:06.04.2015
Дата актуализации описания:01.01.2018
Дата издания:02.07.2004
Дата введения:01.01.2005
Дата последнего изменения:21.12.2017
Область применения:Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004