Интернет - Библиотека
Нормативная правовая документация

Скачать ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия

Дата актуализации: 01.01.2018

ГОСТ Р 52250-2004

Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия

Обозначение: ГОСТ Р 52250-2004
Обозначение англ: GOST R 52250-2004
Статус:введен впервые
Название рус.:Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
Название англ.:Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications
Дата добавления в базу:01.09.2013
Дата актуализации:01.01.2018
Дата введения:01.01.2005
Область применения:Стандарт распространяется на резисты для литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Стандарт применяют при разработке ТУ на резисты конкретных марок, а также совместно с ТУ при их приемке и поставке.
Оглавление:1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Термины, определения и сокращения
4 Классификация и основные параметры
5 Технические требования
6 Требования к обеспечению качества
7 Контроль качества и правила приемки
8 Методы контроля
9 Транспортирование и хранение
10 Указания по применению
11 Гарантии изготовителя
Разработан: ОАО Российский научно-исследовательский институт Электростандарт
ФГУП 22 Центральный научно-исследовательский испытательный институт Министерства обороны РФ
Утверждён:10.03.2004 Госстандарт России (Russian Federation Gosstandart 162-ст)
Издан: ИПК Издательство стандартов (2004 г. )
Нормативные ссылки:
ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004ГОСТ Р 52250-2004