МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СОВЕТ ПО СТАНДАРТИЗАЦИИ,
МЕТРОЛОГИИ И СЕРТИФИКАЦИИ
(МГС)
INTERSTATE
COUNCIL FOR STANDARDIZATION, METROLOGY AND CERTIFICATION
(ISC)
МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ |
ГОСТ |
Государственная система
обеспечения единства
измерений
МЕРЫ РЕЛЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО
ДИАПАЗОНА С ТРАПЕЦЕИДАЛЬНЫМ
ПРОФИЛЕМ ЭЛЕМЕНТОВ
Методика поверки
|
Москва |
Предисловие
Цели, основные принципы и основной порядок проведения работ по межгосударственной стандартизации установлены ГОСТ 1.0-92 «Межгосударственная система стандартизации. Основные положения» и ГОСТ 1.2-2009 «Межгосударственная система стандартизации. Стандарты межгосударственные, правила и рекомендации по межгосударственной стандартизации. Порядок разработки, принятия, применения, обновления и отмены»
Сведения о стандарте
1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (Россия), Федеральным государственным учреждением «Российский научный центр «Курчатовский институт» (Россия) и Государственным образовательным учреждением высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)» (Россия)
2 ВНЕСЕН Федеральным агентством по техническому регулированию и метрологии
3 ПРИНЯТ Межгосударственным советом по стандартизации, метрологии и сертификации (протокол № 36 от 11 ноября 2009 г.)
За принятие проголосовали:
Краткое наименование страны |
Код страны |
Сокращенное наименование национального органа |
AM |
Минторгэкономразвития |
|
Беларусь |
BY |
Госстандарт Республики Беларусь |
Казахстан |
KZ |
Госстандарт Республики Казахстан |
Кыргызстан |
KG |
Кыргызстандарт |
Молдова |
MD |
Молдова-Стандарт |
Российская Федерация |
RU |
Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии |
Таджикистан |
TJ |
Таджикстандарт |
Узбекистан |
UZ |
Узстандарт |
Украина |
UA |
Госпотребстандарт Украины |
4 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 5 апреля 2010 г. № 55-ст
5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ
Информация о введении в действие (прекращении действия) настоящего стандарта публикуется в указателе «Национальные стандарты».
Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в указателе «Национальные стандарты», а текст изменений - в информационных указателях «Национальные стандарты». В случае пересмотра или отмены настоящего стандарта соответствующая информация будет опубликована в информационном указателе «Национальные стандарты»
СОДЕРЖАНИЕ
ГОСТ 8.591-2009
МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ
Государственная система обеспечения единства измерений МЕРЫ РЕЛЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА Методика поверки State
system for ensuring the uniformity of measurements. |
Дата введения - 2010-11-01
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов (далее - рельефные меры), линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ 8.592. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10-6 м.
Настоящий стандарт устанавливает методику первичной и периодических поверок рельефных мер.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие межгосударственные стандарты:
ГОСТ 8.592-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
ГОСТ 12.1.040-83 Система стандартов безопасности труда. Лазерная безопасность. Общие положения
ГОСТ 12.2.061-81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие требования безопасности к рабочим местам
ГОСТ ИСО 14644-1-2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха
Примечание - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов на территории государства по соответствующему указателю стандартов, составленному по состоянию на 1 января текущего года, и по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный документ заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный документ отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
3 Термины и определения
В настоящем стандарте применены термины по РМГ 29 [1], а также следующие термины с соответствующими определениями.
3.1 рельеф поверхности (твердого тела): Поверхность твердого тела, отклонения которой от идеальной плоскости обусловлены естественными причинами или специальной обработкой.
3.2 элемент рельефа (поверхности): Пространственно локализованная часть рельефа поверхности.
3.3 элемент рельефа в форме выступа (выступ): Элемент рельефа, расположенный выше прилегающих к нему областей.
3.4 геометрическая форма элемента рельефа: Геометрическая фигура, наиболее адекватно аппроксимирующая форму минимального по площади сечения элемента рельефа.
Пример - Трапецеидальный выступ, представляющий собой элемент рельефа поверхности, геометрическая форма минимального по площади сечения которого наиболее адекватно аппроксимируется трапецией.
3.5 мера (физической) величины: Средство измерений, предназначенное для воспроизведения и (или) хранения физической величины одного или нескольких заданных размеров, значения которых выражены в установленных единицах и известны с необходимой точностью [1].
3.6 рельефная мера: Средство измерений длины, представляющее собой твердый объект, линейные размеры элементов рельефа которого установлены с необходимой точностью.
Примечание - Рельефная мера может быть изготовлена с помощью средств микро- и нанотехнологии или представляет собой специально обработанный объект естественного происхождения.
3.7 рельефная мера нанометрового диапазона: Мера, содержащая элементы рельефа, линейный размер хотя бы одного из которых менее 10~6 м.
3.8 рельефная мера (нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов): Рельефная мера нанометрового диапазона, геометрическая форма элементов рельефа которой представляет собой трапецию.
3.9 пиксель: Наименьший дискретный элемент изображения, получаемый в результате математической обработки информативного сигнала.
3.10 сканирование (элемента исследуемого объекта): Перемещение зонда микроскопа над выбранным элементом рельефа поверхности исследуемого объекта (или перемещение исследуемого объекта под зондом) с одновременной регистрацией информативного сигнала.
3.11 изображение на экране монитора микроскопа (видеоизображение): Изображение на экране монитора микроскопа в виде матрицы из п строк по т пикселей в каждой, яркость которых прямо пропорциональна значению сигнала соответствующей точки матрицы.
Примечание - Яркость пикселя определяется силой света, излучаемой им в направлении глаза наблюдателя.
3.12 видеопрофиль (информативного сигнала): Графическая зависимость значения информативного сигнала, поступающего с детектора микроскопа, от номера пикселя в данной строке видеоизображения.
3.13 масштабный коэффициент (видеоизображения микроскопа): Отношение длины исследуемого элемента рельефа на объекте измерений к числу пикселей этого элемента на видеоизображении.
Примечание - Масштабный коэффициент определяют для каждого микроскопа.
3.14 Z-сканер сканирующего зондового атомно-силового микроскопа (Z-сканер): Устройство сканирующего зондового атомно-силового микроскопа, позволяющее в процессе сканирования перемещать зонд над поверхностью исследуемого объекта (или перемещать исследуемый объект под зондом) в вертикальном направлении.
4 Операции и средства поверки
4.1 При проведении первичной и периодических поверок рельефной меры должны быть выполнены операции и применены средства поверки, указанные в таблице 1.
Таблица 1 - Операции и применяемые средства поверки
Номер подраздела настоящего стандарта |
Наименование средства поверки и его основные технические и метрологические характеристики |
|
Внешний осмотр |
Вспомогательный оптический микроскоп (увеличение - не менее 400х) |
|
Опробование |
Сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп. Вспомогательный оптический микроскоп (увеличение - не менее 400х). Два лазерных двухлучевых интерферометра с источником излучения - гелий-неоновым лазером, длина волны которого стабилизирована по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде и определена с относительной погрешностью не более 3 × 10-7 %. В комплект поставки каждого лазерного интерферометра должны входить два зеркала, предназначенные для формирования опорного и информативного лучей, по фазовому сдвигу DФ между которыми определяют перемещение поверяемого элемента в процессе его сканирования атомно-силовым микроскопом. Абсолютная погрешность определения фазового сдвига DФ - не более 0,002 рад. |
|
Определение метрологических характеристик |
Атомно-силовой микроскоп. Вспомогательный оптический микроскоп (увеличение - не менее 400х). Два лазерных двухлучевых интерферометра с источником излучения - гелий-неоновым лазером, длина волны которого стабилизирована по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде и определена с относительной погрешностью не более 3 × 10-7 %. В комплект поставки каждого лазерного интерферометра должны входить два зеркала, предназначенные для формирования опорного и информативного лучей, по фазовому сдвигу DФ между которыми определяют перемещение поверяемого элемента в процессе его сканирования атомно-силовым микроскопом. Абсолютная погрешность определения фазового сдвига DФ - не более 0,002 рад. Средства измерений параметров окружающей среды с абсолютными погрешностями не более: - температуры окружающей среды - ± 0,2 °С; - относительной влажности воздуха - ±3 %; - атмосферного давления - ± 130 Па |
4.2 Допускается применять другие средства поверки, точность которых соответствует требованиям настоящего стандарта.
5 Требования к квалификации поверителей
Поверку рельефных мер должны проводить штатные сотрудники метрологической службы предприятия, аккредитованной в установленном порядке на право проведения поверки средств измерений.
Сотрудники должны иметь высшее образование, профессиональную подготовку, опыт работы со сканирующими зондовыми атомно-силовыми микроскопами (далее - АСМ) и двухлучевыми лазерными гетеродинными интерферометрами и знать требования настоящего стандарта.
6 Требования безопасности
6.1 При поверке рельефных мер необходимо соблюдать правила электробезопасности, требования лазерной безопасности по ГОСТ 12.1.040 и требования к обеспечению безопасности на рабочих местах по ГОСТ 12.2.061.
6.2 Рабочие места поверителей должны быть аттестованы по условиям труда в соответствии с требованиями трудового законодательства.
7 Условия поверки и подготовка к ней
7.1 При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:
- температура окружающей среды.........…(20 ± 3) °С;
- относительная влажность воздуха..........не более 80 %;
- атмосферное давление...............………..(100 ± 4)кПа;
- напряжение питающей сети............……(220 ± 22) В;
- частота питающей сети...............……….(50,0 ± 0,4) Гц.
Разность значений параметров окружающей среды до и после окончания поверки не должна превышать указанных в приложении А.
7.2 Помещение (зона), в котором размещают средства измерений для поверки рельефных мер, должно быть в эксплуатируемом состоянии и обеспечивать класс чистоты не более класса 8 ИСО по взвешенным в воздухе частицам с размерами 0,5 и 5 мкм и концентрациями, определенными по ГОСТ ИСО 14644-1.
7.3 Перед началом поверки рельефных мер необходимо подать напряжение питания на основные средства поверки и подготовить их к работе в соответствии с инструкциями по эксплуатации.
8 Проведение поверки
8.1.1 При внешнем осмотре поверяемой рельефной меры должно быть установлено:
- соответствие комплекта поставки данным, приведенным в паспорте (формуляре) на рельефную меру;
- отсутствие механических повреждений футляра, в котором осуществлялось хранение и транспортирование рельефной меры.
8.1.2 Рельефную меру извлекают из футляра, проводят предварительный визуальный внешний осмотр для выявления возможных повреждений и с помощью специальных зажимов устанавливают меру на рабочий стол АСМ.
При установке рельефной меры необходимо обеспечить:
- параллельность плоскости, образованной геометрической формой элемента рельефа меры, направлению горизонтального перемещения рабочего стола АСМ;
- плотное прилегание плоскости подложки меры к поверхности рабочего стола АСМ.
8.1.3 С помощью вспомогательного оптического микроскопа осматривают и проверяют качество поверхности рельефной меры. Шаговая структура на поверхности рельефной меры должна быть однородной, при этом примерно на 75 % поверхности меры не должно быть повреждений маркерных линий, искажений краев элементов рельефа в виде впадин и выступов, соизмеримых с шириной элементов рельефа.
Начальное положение определяют следующим образом: зонд АСМ устанавливают на плоскость нижнего основания на расстоянии от поверяемого элемента, равном не менее 20 % и не более 50 % ширины нижнего основания поверяемого элемента. Аналогично определяют конечное положение зонда АСМ при сканировании.
Второй комплект зеркал устанавливают на Z-сканере и на неподвижном элементе камеры образцов АСМ. Эти зеркала предназначены для формирования информативного (на Z-сканере) и опорного (на неподвижном элементе камеры) лучей, что позволяет регистрировать перемещение Z-сканера АСМ в вертикальном направлении сканирования (далее - ось ординат).
Второй лазерный интерферометр (далее - вертикальный лазерный интерферометр) устанавливают соответственно расположению зеркал.
Горизонтальный и вертикальный лазерные интерферометры должны обеспечивать регистрацию информативных и опорных лучей в процессе сканирования поверяемого элемента. Для каждого интерферометра необходимо также обеспечить взаимную параллельность информативного и опорного лучей при всех положениях стола и Z-сканера АСМ в процессе сканирования поверяемого элемента. Допустимый угол расхождения опорного и информативного лучей для каждого интерферометра не должен превышать V.
Такое взаимное расположение двух лазерных интерферометров в комплекте с зеркалами позволяет в процессе сканирования поверяемого элемента рельефной меры проводить регистрацию видеопрофиля элемента и, одновременно с этим, регистрацию перемещения рельефной меры и Z-сканера двумя лазерными интерферометрами.
8.2.3 В соответствии с инструкцией по эксплуатации АСМ проводят пробное сканирование поверяемого элемента рельефа.
При этом предварительно:
- выполняют юстировку зеркал в соответствии с инструкцией по эксплуатации применяемых лазерных интерферометров;
- путем изменения угла наклона исследуемого объекта обеспечивают взаимную параллельность направления прохождения информативного луча вертикального лазерного интерферометра и направления вертикального перемещения Z-сканера АСМ при сканировании элемента рельефа;
- в соответствии с инструкциями по эксплуатации применяемых АСМ и лазерных интерферометров определяют частоту и скорость сканирования поверяемого элемента, при которых в электронно-фазометрических системах интерферометров можно четко регистрировать количество целых и дробных полос интерференции, соответствующих значениям фазовых сдвигов между опорными и информативными лучами горизонтального и вертикального интерферометров;
- устанавливают показания электронно-фазометрических систем применяемых лазерных интерферометров в «нулевое» положение, определяемое нестабильностью младшего разряда используемых аналого-цифровых преобразователей в указанных электронно-фазометрических системах.
8.3 Определение метрологических характеристик
8.3.1 Проводят измерение параметров окружающей среды и показателей качества питающей электрической сети и проверяют выполнение требований, указанных в 7.1.
Сечение выступа трапецеидальной формы и места начального и конечного положений зонда АСМ приведены на рисунке 1.
Видеопрофиль, соответствующий этому выступу, изображен на рисунке 2.
b -
ширина нижнего основания выступа; bи - ширина верхнего основания
выступа;
h - высота выступа; а - значение проекции наклонной стенки на
плоскость нижнего основания выступа
Рисунок 1 - Сечение поверяемого элемента рельефной меры
a
- точка на видеопрофиле, соответствующая начальному положению зонда АСМ при
сканировании;
g - точка на видеопрофиле, соответствующая
конечному положению зонда при сканировании;
Н - высота выступа, измеренная по видеопрофилю;
L - разность абсцисс конечной и начальной точек горизонтального
сканирования,
соответствующая величине горизонтального перемещения подвижной части
рабочего стола АСМ, вычисленная по видеопрофилю
Рисунок 2 - Видеопрофиль сечения поверяемого
элемента рельефной меры, приведенного
на рисунке 1
(направление сканирования - слева направо)
8.3.3 По показаниям электронно-фазометрической системы горизонтального лазерного интерферометра определяют значение горизонтального фазового сдвига DФГ в радианах между информативным и опорным лучами этого интерферометра.
8.3.4 По показаниям электронно-фазометрической системы вертикального лазерного интерферометра определяют значение вертикального фазового сдвига DФВ в радианах между информативным и опорным лучами этого интерферометра.
8.3.5 Проводят измерение параметров окружающей среды и показателей качества питающей электрической сети и проверяют выполнение требований, указанных в 7.1.
8.4 Оформление протокола поверки
Результаты измерений параметров рельефной меры по 8.3.2 - 8.3.4 и указанных на рисунке 2 оформляют в виде протокола. В протоколе также приводят значения условий проведения поверки до начала и после окончания измерений по 8.3.1 и 8.3.5.
Форма протокола - произвольная. Протокол с результатами поверки должен храниться как минимум до следующей поверки рельефной меры.
9 Обработка результатов измерений
Горизонтальное перемещение подвижной части рабочего стола DL, нм, от начального до конечного положения при сканировании поверяемого элемента рельефа вычисляют по формуле
|
(1) |
где l1 - длина волны излучения гелий-неонового лазера в вакууме, приведенная в паспорте (формуляре) на горизонтальный лазерный интерферометр, нм;
DФГ - фазовый сдвиг, измеренный по 8.3.3, рад;
п - показатель преломления воздуха при фактических значениях температуры окружающей среды, влажности воздуха и атмосферного давления, вычисленный по приложению А.
9.2 Вычисление масштабного коэффициента видеоизображения для оси абсцисс
Масштабный коэффициент видеоизображения т, нм/пиксель, для оси абсцисс вычисляют по формуле
|
(2) |
где DL - перемещение подвижной части рабочего стола АСМ при горизонтальном сканировании, вычисленное по 9.1, нм;
L - разность абсцисс конечной и начальной точек горизонтального сканирования, соответствующая горизонтальному перемещению подвижной части рабочего стола АСМ, вычисленная по видеопрофилю (см. рисунок 2), пиксель.
9.3 Вычисление вертикального перемещения Z-сканера АСМ при сканировании поверяемого элемента рельефа
Вертикальное перемещение Z-сканера АСМ АН, нм, при сканировании поверяемого элемента рельефа вычисляют по формуле
|
(3) |
где l2 - длина волны излучения гелий-неонового лазера в вакууме, приведенная в паспорте (формуляре) на вертикальный лазерный интерферометр, нм;
DФВ - фазовый сдвиг, измеренный по 8.3.4, рад;
п - показатель преломления воздуха при фактических значениях температуры окружающей среды, влажности воздуха и атмосферного давления, вычисленный по приложению А.
9.4 Вычисление высоты выступа поверяемого элемента рельефа
Значение высоты выступа h в нанометрах равно значению вертикального перемещения Z-сканера DН, вычисленному по 9.3.
При определении ширины верхнего основания трапецеидального выступа bи используют вспомогательную величину, для вычисления которой:
- вычисляют производную по горизонтальной координате. Для видеопрофиля, изображенного на рисунке 2, результат такого вычисления приведен на рисунке 3;
- проводят анализ результатов вычисления производной видеопрофиля по координате и вычисляют значение вспомогательной величины Ви в пикселях, которая равна разности соответствующих абсцисс точек, как показано на рисунке 3.
X -
ось абсцисс по 8.2.2; a, g
- начальная и конечная точки положения
зонда АСМ при сканировании поверяемого элемента, расположенные
в соответствии с требованиями по 8.2.1;
- ось ординат по
значению производной величины видеосигнала по координате х
Рисунок 3 - Графическое изображение первой
производной видеопрофиля по
координате в направлении горизонтального перемещения подвижной части стола
АСМ
9.6 Вычисление ширины верхнего основания трапецеидального выступа
Ширину верхнего основания выступа bи, нм, вычисляют по формуле
bи = mBи, |
(4) |
где т - масштабный коэффициент видеоизображения для оси абсцисс, вычисленный по 9.2, нм/пиксель;
Ви - вспомогательная величина, вычисленная по 9.5, пиксель.
9.7 Вычисление ширины нижнего основания трапецеидального выступа
Ширину нижнего основания трапецеидального выступа bр, нм, вычисляют по формуле
bр = bи + 1,4142h, |
(5) |
где bи - ширина верхнего основания поверяемого выступа, вычисленная по 9.6, нм;
h - высота поверяемого выступа, вычисленная по 9.4, нм.
9.8 Вычисление проекции наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа
Проекцию наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа а, нм, вычисляют по формуле
a = 0,7071h, |
(6) |
где h - высота выступа, вычисленная по 9.4, нм.
Абсолютные погрешности измерений значений bи, bp, h и а поверяемого элемента рельефной меры не превышают 0,8 нм при условии использования средств поверки, обеспечивающих погрешности измерений не хуже указанных в 4.1.
10 Оформление результатов поверки
10.1 Результаты поверки оформляют в виде свидетельства установленной формы и внесением соответствующей записи в паспорт (формуляр) рельефной меры.
10.2 На лицевой стороне свидетельства о поверке наносят знак поверки (поверительное клеймо), а также указывают даты выдачи и окончания срока действия свидетельства. На оборотной стороне свидетельства о поверке и в паспорте (формуляре) рельефной меры должны быть приведены значения высоты выступа, ширины верхнего и нижнего его оснований, а также значение проекции наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа поверяемого элемента. Для перечисленных метрологических характеристик рельефной меры необходимо также указать абсолютные погрешности их измерений, приведенные в подразделе 9.9 настоящего стандарта.
Приложение
А
(справочное)
Вычисление показателя преломления воздуха
А.1 Исходные данные
При вычислении показателя преломления воздуха п исходными данными являются следующие параметры окружающей среды:
- температура t, °С;
- атмосферное давление р, Па;
- относительная влажность r, %.
Параметры окружающей среды измеряют до начала и после окончания измерений, при этом разность показаний должна быть не более:
- температуры окружающей среды............….± 1 °С;
- атмосферного давления.................…………± 300 Па;
- относительной влажности воздуха...............±1 0%.
А.2 Константы для вычисления показателя преломления воздуха
При вычислениях используют константы, приведенные в таблице А.1.
Таблица А.1 - Константы для вычисления показателя преломления воздуха
Значение |
Обозначение константы |
Значение |
|
А |
8342,54 |
E |
0,601 |
В |
2406147 |
F |
0,00972 |
С |
15998 |
G |
0,003661 |
D |
96095,43 |
- |
- |
А.3 Вычисление вспомогательной величины S
Вспомогательную величину S вычисляют по формуле
|
(А.1) |
где l1,l2 - значения длин волн излучения в вакууме гелий-неоновых лазеров по 9.1 и 9.3, нм, соответственно.
А.4 Вычисление вспомогательной величины ns
Вспомогательную величину ns вычисляют по формуле
|
(A.2) |
где А, В, С - константы по А.2;
S - вспомогательная величина, вычисленная по А.3.
А.5 Вычисление вспомогательной величины X
Вспомогательную величину X вычисляют по формуле
|
(A.3) |
где Е, F, G - константы по А.2;
t - температура окружающей среды, °С;
р - атмосферное давление, Па.
А.6 Вычисление вспомогательной величины л1
Вспомогательную величину п1 вычисляют по формуле
|
(A.4) |
где р - атмосферное давление, Па;
ns - вспомогательная величина, вычисленная по А.4;
X - вспомогательная величина, вычисленная по А.5;
D - константа по А.2.
А.7 Вычисление парциального давления паров воды
Парциальное давление паров воды pw, Па, вычисляют по формуле
|
(A.5) |
где r - относительная влажность воздуха, %;
Psw(t) - давление насыщенного водяного пара при температуре окружающей среды t, вычисленное по А.8 - А.14, Па.
А.8 Константы для вычисления давления насыщенного водяного пара
Для вычисления давления насыщенного водяного пара при температуре окружающей среды t, °С, используют константы, приведенные в таблице А.2.
Таблица А.2 - Константы для вычисления давления насыщенного водяного пара
Значение |
Обозначение константы |
Значение |
|
K1 |
1167,05214528 |
K6 |
14,9151086135 |
К2 |
-724213,167032 |
K7 |
-4823,26573616 |
К3 |
-17,0738469401 |
К8 |
405113,405421 |
K4 |
12020,8247025 |
К9 |
-23,8555575678 |
K5 |
-3232555,03223 |
К10 |
650,175348448 |
А.9 Вычисление вспомогательной величины W
Вспомогательную величину W вычисляют по формуле
|
(А.6) |
где t - температура окружающей среды, °С;
К9, К10 - константы по А.8.
А.10 Вычисление вспомогательной величины М
Вспомогательную величину М вычисляют по формуле
М = W2 + К1W + К2, |
(А.7) |
где W - вспомогательная величина, вычисленная по А.9;
К1, К2 - константы по А.8.
А.11 Вычисление вспомогательной величины N
Вспомогательную величину N вычисляют по формуле
N = K3W2 + K4W + K5, |
(A.8) |
где К3, К4, К5 - константы по А.8;
W - вспомогательная величина, вычисленная по А.9.
А.12 Вычисление вспомогательной величины R
Вспомогательную величину R вычисляют по формуле
R = K6W2 + K7W + K8, |
(А.9) |
где К6, К7, К8 - константы по А.8;
W - вспомогательная величина, вычисленная по А.9.
А.13 Вычисление вспомогательной величины W
Вспомогательную величину W вычисляют по формуле
|
(A.10) |
где N - вспомогательная величина, вычисленная по А.11;
М - вспомогательная величина, вычисленная по A.10;
R - вспомогательная величина, вычисленная по А.12.
А.14 Вычисление давления насыщенного водяного пара
Давление насыщенного водяного пара psw(t), Па, вычисляют по формуле
|
(A.11) |
где R - вспомогательная величина, вычисленная по А.12;
W - вспомогательная величина, вычисленная по А.13.
А.15 Вычисление показателя преломления воздуха
Показатель преломления воздуха п вычисляют по формуле
|
(А.12) |
где п1 - вспомогательная величина, вычисленная по А.6;
S - вспомогательная величина, вычисленная по А.3;
pw - парциальное давление паров воды, вычисленное по А.7, Па;
t - температура окружающей среды, °С.
Библиография
Государственная система обеспечения единства измерений. Метрология. Основные термины и определения |
Ключевые слова: рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп, лазерный интерферометр, методика поверки