ГОСТ Р 50116-92
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
ЭЛЕКТРОННАЯ ГИГИЕНА
Термины и определения
ГОССТАНДАРТ РОССИИ
Москва
1 РАЗРАБОТАН и ВНЕСЕН Техническим комитетом 303 ВНИИЭлектронстандартом
2 УТВЕРЖДЕН и ВВЕДЕН в действие Постановлением Госстандарта России от 06.08.92 № 896
3 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ
4 ПЕРЕИЗДАНИЕ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
ЭЛЕКТРОННАЯ ГИГИЕНА Термины и определения Microcontamination control. Terms and definitions |
ГОСТ Р |
Дата введения 1993-07-01
Настоящий стандарт устанавливает термины и определения понятий в области электронной гигиены.
Стандарт распространяется на стадии разработки, освоения и производства изделий, осуществляемые в чистых производственных помещениях на чистых рабочих местах.
Термины, устанавливаемые стандартом, обязательны для применения во всех видах документации и литературы, входящих в сферу работ по стандартизации и (или) использующих результаты этих работ.
1 Для каждого понятия установлен один стандартизованный термин. Применение терминов-синонимов стандартизованного термина не допускается. Недопустимые термины-синонимы приведены в круглых скобках после стандартизованного термина и обозначены пометой «Ндп».
2 Заключенная в круглые скобки часть термина может быть опущена при использовании термина в документах по стандартизации.
Наличие квадратных скобок в терминологической статье означает, что в нее включены два термина, имеющие общие терминоэлементы.
В алфавитном указателе данные термины приведены отдельно с указанием номера одной статьи.
3 Приведенные определения можно при необходимости изменять, вводя в них производные признаки, раскрывая значения используемых в них терминов, указывая объекты, входящие в объем определяемого понятия. Изменения не должны нарушать объем и содержание понятий, определенных в настоящем стандарте.
В случаях, когда в термине содержатся все необходимые и достаточные признаки понятия, определение не приводится, и вместо него ставится прочерк.
4 В стандарте приведен алфавитный указатель терминов на русском языке.
5 Термины и определения общетехнических понятий, необходимые для понимания текста стандарта, приведены в приложении.
6 Стандартизованные термины набраны полужирным шрифтом, их краткие формы, представленные аббревиатурой, - светлым, а синонимы - курсивом.
1 Общие понятия
Примечание - Воздушная среда характеризуется запыленностью, температурой, относительной влажностью, скоростью воздушного потока и его ламинарностью, избыточным давлением, уровнем вибрации и шума, напряженностью электромагнитного поля, уровнем электростатического заряда.
2 Характеристики технологического микроклимата
Примечание - При нормировании и контроле запыленности следует указывать размер(ы) частиц.
3 Средства обеспечения электронной гигиены
Примечание - К пылезащитному оборудованию относятся пылезащитные боксы, пылезащитные кабины и микроклиматические камеры.
Примечание - Чистые комнаты предназначены для проведения технологических операций, требующих высокой степени чистоты воздушной среды.
Примечание - Пылезащитная тара может быть активной, имеющей системы подготовки, очистки и продувки воздуха, или пассивной, заполняемой очищенным газом или воздухом под избыточным давлением.
Примечание - В зависимости от условий технологического процесса технологическая одежда должна быть стойкой к кислотам или щелочам, не выделяющей пыли, обладать антистатическими свойствами.
4 Производственные здания с чистыми помещениями
Примечание - В чистой зоне могут находиться помещения или комнаты различного класса чистоты, имеющие различные параметры технологического микроклимата, определяемые требованиями организации технологического процесса.
Примечание - Сервисная зона и зоны инженерно-технического и социально-бытового обслуживания, располагаемые в непосредственной близости к чистой зоне, могут быть не сгруппированы в определенной части производственного здания, а распределяться в объеме чистой и других зон. При высоких технологических требованиях указанные зоны могут включать в себя чистые помещения.
5 Зоны чистых помещений и элементы их конструкции
Примечание - Рабочая зона и зона оператора могут иметь отдельные системы очистки воздуха и соответствовать различным классам чистоты.
Примечание - В зоне обслуживания могут размещаться нерабочие части технологического оборудования, системы подготовки и контроля технологических сред, включая финишные фильтры и другое вспомогательное оборудование.
6 Фильтрование и фильтры
6.1 фильтрация: Самопроизвольное или преднамеренное прохождение жидкости или газа через пористую среду, которое может сопровождаться отделением взвешенных частиц, задерживаемых пористой средой (ГОСТ 16887).
6.2 фильтрование: Преднамеренно осуществляемый процесс фильтрации для разделения жидких неоднородных систем (ГОСТ 16887).
6.3 пылеуловитель: Аппарат для очистки газа от взвешенных частиц (ГОСТ 25199).
6.4 фильтрующий элемент: Часть фильтра, непосредственно осуществляющая фильтрование (ГОСТ 26070).
6.5 сменный фильтрующий элемент: -
Примечание - Различают следующие разновидности фильтрующих материалов: фильтровальная бумага, металлическая сетка, синтетические и натуральные ткани, пористая пластмасса, порошковый материал и другие (ГОСТ 26070).
Примечания
1 Коэффициент эффективности, выраженный в процентах, называется эффективностью воздушного фильтра.
2 Эффективность воздушного фильтра может определяться по частицам, лежащим в определенных диапазонах размеров. Суммарная эффективность по всем регистрируемым частицам называется общей.
6.13 перепад давлений на фильтре: Разность давлений на входе и выходе фильтра, под действием которой происходит фильтрование (ГОСТ 26070).
7 Контроль и поддержание параметров технологического микроклимата в чистых помещениях
7.1 контроль параметров (технологического) микроклимата: -.
Примечание - Пылеуборка подразделяется на сухую, влажную и централизованную вакуумную.
АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ
Аттестация чистых помещений |
|
Аттестация чистых рабочих мест |
|
Блок обеспыливания |
|
Блок фильтровальный |
|
Ввод оборудования |
|
Ввод оборудования в чистое помещение |
|
Гермозона |
|
Гигиена вакуумная |
|
Гигиена производственная |
|
Гигиена технологическая |
|
Гигиена электронная |
|
Гигиена электронно-вакуумная |
|
Дисциплина в чистом помещении |
|
Загрязнение |
|
Загрязнение технологическое |
|
Запыленность воздуха |
|
Запыленность газа |
|
Здание с чистыми помещениями производственное |
|
Зона инженерно-технического обслуживания |
|
Зона над чистым помещением техническая |
|
Зона обслуживания чистого помещения |
|
Зона оператора |
|
Зона подготовительная |
|
Зона под чистым помещением техническая |
|
Зона рабочая |
|
Зона сервисная |
|
Зона социально-бытового обслуживания |
|
Зона чистая |
|
Зона чистого помещения рабочая |
|
Источник загрязнения |
|
Камера шлюзовая обдувочная |
|
Класс чистоты помещения |
|
Класс чистоты рабочего места |
|
Комната чистая |
|
Контроль запыленности воздуха |
|
Контроль запыленности воздуха контрольной пластиной |
|
Контроль запыленности воздуха мембранным фильтром |
|
Контроль запыленности контрольной пластиной |
|
Контроль запыленности мембранным фильтром |
|
Контроль параметров микроклимата |
|
Контроль параметров технологического микроклимата |
|
Концентрация частиц |
|
Коэффициент проскока воздушного фильтра |
|
Коэффициент проскока фильтра |
|
Коэффициент фильтрации |
|
Коэффициент эффективности воздушного фильтра |
|
Коэффициент эффективности фильтра |
|
Материал фильтрующий |
|
Место рабочее чистое |
|
Микроклимат |
|
Микроклимат технологический |
|
Оборудование пылезащитное |
|
Оборудование пылезащитное термовлагоконстантное |
|
Оборудование пылезащитное термоконстантное |
|
Одежда технологическая |
|
Отбор проб |
|
Отбор проб при контроле запыленности воздуха |
|
Перепад давлений на воздушном фильтре номинальный |
|
Перепад давлений на фильтре |
|
Перепад давлений на фильтре номинальный |
|
Помещение чистое |
|
Потолок фильтровальный |
|
Принадлежности технологические |
|
Производительность воздушного фильтра |
|
Пылеемкость воздушного фильтра |
|
Пылеемкость фильтра |
|
Пылеуборка |
|
Пылеуловитель |
|
Расход номинальный |
|
Расход через воздушный фильтр номинальный |
|
Система контроля воздушной среды |
|
Система контроля среды |
|
Служба электронной гигиены |
|
Содержание частиц |
|
Средства обеспечения электронной гигиены |
|
Стена фильтровальная |
|
Счетчик частиц |
|
Счетчик частиц конденсационный |
|
Счетчик частиц лазерный |
|
Счетчик частиц оптический |
|
Тара пылезащитная |
|
Тара технологическая пылезащитная |
|
Уровень запыленности |
|
Уровень чистоты |
|
Фальшпол |
|
Фильтрация |
|
Фильтр грубой очистки |
|
Фильтр грубой очистки воздушный |
|
Фильтр доводочный |
|
Фильтрование |
|
Фильтр предварительной очистки |
|
Фильтр промежуточной очистки |
|
Фильтр промежуточной очистки воздушный |
|
Фильтр тонкой очистки |
|
Фильтр тонкой очистки воздушный |
|
Фильтр финишный |
|
ЧП |
|
ЧРМ |
|
Шлюз грузовой |
|
Шлюз для персонала |
|
Шлюз чистого помещения грузовой |
|
ЭГ |
|
Элемент фильтрующий |
|
Элемент фильтрующий сменный |
|
Эффективность очистки |
|
Эффективность фильтрации |
ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ
ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ
Обозначение НТД, на который дана ссылка |
Номер пункта |
СОДЕРЖАНИЕ