Интернет - Библиотека
Нормативная документация
Главная Государственные стандарты Строительная документация Техническая документация
ГОСТ ГОСТ Р СНиП СанПиН СП НПБ ВСН СТО МУК
   
ФЗ Постановление Приказ ТЕР РД ОСТ ФЕР ТТК ТУ

ГОСТ Р 8.640-2008

Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

Обозначение: ГОСТ Р 8.640-2008
Обозначение англ: GOST R 8.640-2008
Статус:действует
Название рус.:Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
Название англ.:State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods
Дата добавления в базу:01.09.2013
Дата актуализации:05.05.2017
Дата введения:01.01.2009
Область применения:Стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения — радиометры УФ-излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.
Оглавление:1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Операции поверки
4 Средства поверки
5 Требования к квалификации поверителей
6 Требования безопасности
7 Условия поверки
8 Подготовка и проведение поверки
9 Обработка результатов измерений
10 Оформление результатов поверки
Приложение А (обязательное) Характеристики радиометров УФ-излучения
Библиография................................................10
Разработан: ФГУП ВНИИОФИ
Утверждён:26.03.2008 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (60-ст)
Издан: Стандартинформ (2008 г. )
Нормативные ссылки:

Скачать ГОСТ Р 8.640-2008


Яндекс.Метрика
Нормативная и правовая документация

libnorm.ru

2017