Интернет - Библиотека
Нормативная документация
Главная Государственные стандарты Строительная документация Техническая документация
ГОСТ ГОСТ Р СНиП СанПиН СП НПБ ВСН СТО МУК
   
ФЗ Постановление Приказ ТЕР РД ОСТ ФЕР ТТК ТУ

ГОСТ Р 8.628-2007

Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Обозначение: ГОСТ Р 8.628-2007
Обозначение англ: GOST R 8.628-2007
Статус:действует
Название рус.:Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Название англ.:State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Requirements for geometrical shapes, linear sizes and manufacturing material selection
Дата добавления в базу:01.09.2013
Дата актуализации:05.05.2017
Дата введения:01.02.2008
Область применения:Стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. Стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов.
Оглавление:1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Термины и определения
4 Геометрические формы и линейные размеры элементов рельефа
5 Требования к материалу для изготовления рельефной меры
Приложение А (справочное) Технологический процесс изготовления рельефной меры с использованием анизотропного травления
Библиография
Разработан: ОАО НИЦ по изучению свойств поверхности и вакуума
ФГУ Российский научный центр Курчатовский институт
ГОУВПО Московский физико-технический институт (государственный университет)
Утверждён:21.05.2007 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (96-ст)
Издан: Стандартинформ (2007 г. )
Стандартинформ (2011 г. )
Список изменений:
Нормативные ссылки:

Скачать ГОСТ Р 8.628-2007


Яндекс.Метрика
Нормативная и правовая документация

libnorm.ru

2017