Скачать ГОСТ 8.592-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовленияДата актуализации: 01.01.2018
|
| Обозначение: |   ГОСТ 8.592-2009 |
| Обозначение англ: | GOST 8.592-2009 |
| Статус: | введен впервые |
| Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления |
| Название англ.: | State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measure. Geometrical shapes, linear size and manufacturing material requirements |
| Дата добавления в базу: | 01.09.2013 |
| Дата актуализации: | 01.01.2018 |
| Дата введения: | 01.11.2010 |
| Область применения: | Стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в степени минус девять до 10 в степени минус шесть м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных микроскопов по ГОСТ 8.594 и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов по ГОСТ 8.593 при проведении метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов. |
| Оглавление: | 1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Термины и определения 4 Геометрические формы и линейные размеры элементов рельефа 5 Требования к материалу для изготовления рельефной меры Приложение А технологический процесс изготовления рельефной меры с использованием анизотропного травления Библиография |
| Разработан: | ОАО Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума ФГУ Российский научный центр Курчатовский институт ГОУВПО Московский физико-технический институт (государственный университет) |
| Утверждён: | 11.11.2009 Межгосударственный Совет по стандартизации, метрологии и сертификации (Inter-Governmental Council on Standardization, Metrology, and Certification 36) 05.04.2010 Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (56-ст) |
| Издан: | Стандартинформ (2010 г. ) |
| Нормативные ссылки: |
|
ГОСТ 1.2-2009 «Межгосударственная система стандартизации. Стандарты межгосударственные, правила и рекомендации по межгосударственной стандартизации. Правила разработки, принятия, применения, обновления и отмены»
